PCrNi3Mo钢表面磁控溅射CrAlN涂层的结构及力学性能分析

• 作者: 张剑 张罡 李德元 郭策安 金浩 陈勇
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAlN涂层 硬度 弹性模量
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 材料保护及表面工程
• 页码范围: 1467-1470
• 页数: 4页
• 分类号: TG172|TG113
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2015.06.042

摘要

采用磁控溅射技术在PCrNi3Mo钢表面沉积CrAlN硬质涂层,利用激光共聚焦显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪分别对涂层的表面形貌、组织结构、硬度与弹性模量进行表征.结果表明,CrAlN涂层表面较致密光滑,表面粗糙度为0.003 5 μm.CrAlN涂层的硬度和弹性模量分别为14.03 GPa和259.1 GPa,较基材显著提高.