MEMS微镜的系统级设计与分析

• 作者: 刘双杰 王锁成 郝永平
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电控制 光学开关 系统级建模 交流小信号分析 模态分析
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: TG665|TM564.6
• 字数: 1672字
• 语种: 中文

摘要

提出一种基于空间转换原理、静电控制的MEMS光学开关.运用CoventorWare软件中的Architect模块对MEMS光学开关进行系统级建模与仿真分析.分别对MEMS光开关施加半正弦、脉冲和阶跃三种不同的冲击信号,得到微镜转动的角位移与时间的关系曲线,分析得出微镜具有抵抗1500g冲击的能力.对微镜进行交流小信号分析,得出固有频率为28.48kHz,与模态分析结果相比较,得出系统级和有限元两种分析方法的误差仅为0.6％,由此表明系统级仿真具有精度高、速度快的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘双杰		21	95	5.0	8.0
2	郝永平		170	586	11.0	17.0
3	王锁成		1	3	1.0	1.0