一种小口径凸非球面补偿器的设计

• 作者: 张葆 洪永丰 邢振冲
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 检测 光学设计 补偿器 公差分析
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 294-301
• 页数: 8页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.1116001

摘要

离轴三反光学系统目前常被多谱段共口径光学系统作为共口径端,检测离轴三反光学系统中凸非球面次镜对,需要通过补偿法来实现非球面的高精度检测,因此补偿器的优化设计是关键技术之一.对于二次曲面系数较大同时背面为非透射面的小口径凸非球面,无法采用非球面透射式的补偿法进行检测,因此采用凸非球面直接作为反射面的自准直平行光补偿检验法.根据设计思路,利用Zemax软件构建初始结构并对其进行优化,这样简化了初始结构计算过程,同时能得到理想的补偿器系统结构.给出了一个口径为80 mm、二次曲面系数为-6.5,F数为5.00375的凸非球面反射镜的补偿器系统的设计过程和公差分析过程,系统工作波长为632.8 nm,均方根值为0.000015λ,公差分配后残余波像差为0.0104708λ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张葆	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	84	885	17.0	26.0
2	洪永丰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	137	7.0	11.0
3	邢振冲	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	0	0.0	0.0