磁控溅射 WO 3薄膜的制备及其 NO 2气敏特性研究

• 作者: 刘文刚 张宝庆 曹先敏 沈岩柏 范安锋 高淑玲 魏德洲
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: WO 3 薄膜 磁控溅射 NO 2 气敏特性
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 页码范围: 7118-7121
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 2824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2015.07.026

摘要

采用直流反应磁控溅射法，在室温条件下通过改变放电气体压强制备出具有不同膜密度的 WO3薄膜。结构表征结果表明，由单斜晶 WO3纳米颗粒组成的薄膜具有层状结构，随着放电气体压强的增加，膜密度呈下降趋势。气敏特性研究结果表明，由 WO3薄膜制备而成的气体传感器在工作温度为200℃时获得对NO2气体的最大灵敏度，并在50~300℃的工作温度范围内对 NO2气体均展现出良好的气敏特性。在相同的检测条件下，气体灵敏度随着膜密度的减少而增加。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏德洲	东北大学资源与土木工程学院	219	2618	25.0	40.0
2	高淑玲	东北大学资源与土木工程学院	50	460	12.0	20.0
3	沈岩柏	东北大学资源与土木工程学院	49	481	12.0	21.0
4	刘文刚	东北大学资源与土木工程学院	62	488	13.0	19.0
5	范安锋	东北大学资源与土木工程学院	1	1	1.0	1.0
6	张宝庆	东北大学资源与土木工程学院	5	13	3.0	3.0
7	曹先敏	东北大学资源与土木工程学院	2	5	1.0	2.0