嵌入式微波自动阻抗匹配系统

• 作者: 岳文文 徐公国 林士伟 程健
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: ARM LM3S8962 微波等离子体 自动匹配器
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 113-115,119
• 页数: 4页
• 分类号: TP272
• 字数: 2377字
• 语种: 中文

摘要

阻抗匹配是微波系统的必要环节.传统的手工匹配方式限制了微波系统在很多领域的应用.针对微波等离子体设备,基于ARM Cortex-M3的LM3S8962处理器,可构建一种微波自动阻抗匹配系统.系统硬件包括信号检测、电机驱动等电路,软件方面进行嵌入式应用开发、自动阻抗匹配算法研究和编程等.测试结果表明,该系统实现首次自动阻抗匹配的时间低于1 min,跟踪负载动态变化再次实现匹配的时间低于10 s,匹配时反射与入射功率之比低于10％.该系统有利于促进微波技术的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程健	中国科学技术大学自动化系	91	589	12.0	21.0
2	岳文文	中国科学技术大学自动化系	2	3	1.0	1.0
3	徐公国	中国科学技术大学自动化系	1	1	1.0	1.0
4	林士伟	中国科学技术大学自动化系	1	1	1.0	1.0