阵列型紫外LED匀光照明系统设计

• 作者: 卢振武 孙强 王尧 荆雷 郝剑
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计 紫外曝光 匀光照明 阵列
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 186-192
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201535.1022003

摘要

为实现曝光系统均匀照明的目标,基于非成像光学,提出了一种阵列型模组的匀光照明系统优化设计方法.该方法首先通过对单模组的光学设计,实现半发散角度和阵列间距的初步计算,然后通过TracePro软件的Scheme宏语言和优化引擎相结合,实现对模组阵列间距的进一步优化,从而实现对整个光学系统的均匀照明设计.光源采用日亚紫外LEDSTS-DA1-2394E,阵列模组个数为5,阵列纵向间距为28 mm,横向间距为24 mm.该光学系统通过TracePro软件模拟仿真和实验结果表明:在距光源300 mm的距离处,可实现目标面积上的均匀照明,其非均匀性均小于5％,准直角度约为4°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	204	1641	20.0	28.0
2	卢振武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	93	1154	21.0	28.0
3	王尧	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	14	40	4.0	6.0
4	荆雷	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	86	4.0	9.0
5	郝剑	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	0	0.0	0.0