热处理对Al/Al2O3/BaTiO3薄膜电容器性能的影响

• 作者: 初蕾 孙峰 张玉 朱志斌 王玮 高标
• 来源期刊: 山东化工
• 学科: 物理学
• 关键词: 热处理制度 热氧化膜 介电性能 电容值 等效电路
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4+2
• 字数: 2351字
• 语种: 中文

摘要

钛酸钡薄膜电容器以其能量密度高、性能可靠等优点而成为新能源领域的研究对象.本文以铝片作为电极材料,预煅烧过的钛酸钡为电介质材料.采用在空气中热处理的方法,使提拉过钛酸钡的铝电极表面生成一层热氧化膜,并且通过探讨一定的热处理制度,得到最佳的氧化铝层,提高介电性能.通过介电性能分析及等效电路模拟,得出铝表面生成了热氧化膜,升温速率10℃/min、保温时间120min是制备Al/Al2O3/BaTiO3电容器的最优条件,并且在0.5Hz下介电层介电常数达到3.84×104,介电损耗为0.2801,电容器的电容值达到2.92μF.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱志斌	中国海洋大学材料科学与工程研究院	29	144	6.0	11.0
2	王玮	中国海洋大学材料科学与工程研究院	30	62	5.0	6.0
3	孙峰	中国海洋大学材料科学与工程研究院	12	131	5.0	11.0
4	张玉	中国海洋大学材料科学与工程研究院	6	6	2.0	2.0
5	初蕾	中国海洋大学材料科学与工程研究院	15	28	3.0	5.0
6	高标	中国海洋大学材料科学与工程研究院	2	3	1.0	1.0