高功率激光装置中空间滤波器洁净控制的优化设计

• 作者: 吴永忠 庞向阳 朱健强 李养帅 焦翔
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 空间滤波器 优化设计 计算流体动力学 有机物污染
• 年，卷（期）: 2015,（z1）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: TN202
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.s102015

摘要

利用计算流体动力学(CFD)技术,对有机污染物在空间滤波器内的扩散情况进行了数值模拟,得到了在不同洁净控制设计方案下,有机污染物物在空间滤波器真空系统中随扩散时间的浓度分布情况,而后在优选设计的基础上对模型进一步优化,最终减少了有机污染物对空间滤波器内光学元器件的污染,对于实现高功率激光装置的高效、精密运行具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所	147	1132	17.0	31.0
2	焦翔	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	1	1.0	1.0
3	庞向阳	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	15	3.0	3.0
4	吴永忠	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	0	0.0	0.0
5	李养帅	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	0	0.0	0.0