一种肖特基势垒强型N-AlGaN基 MSM日盲紫外光电探测器

• 作者: 吴浩然 宋曼 王俊 王唐林 王国胜 谢峰 郭进
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 探测器 紫外光电探测器 铝镓氮 日盲 肖特基势垒
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 电子与信息器件
• 页码范围: 111-113,117
• 页数: 4页
• 分类号: TN710-34|O472
• 语种: 中文

摘要

研制一种以薄的高阻AlGaN覆盖层作为肖特基势垒增强层的N?AlGaN基金属?半导体?金属（MSM）日盲紫外光电探测器。与无覆盖层的参考器件相比，覆盖高阻AlGaN层后探测器的暗电流大幅度减小。在5 V偏压下，覆盖高阻AlGaN层的光电探测器的暗电流为1.6 pA，响应度为22.5 mA/W，日盲紫外抑制比大于103，探测率为6.3×1010 cm·Hz1/2/W。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王俊	中国电子科技集团公司第三十八研究所	14	32	3.0	5.0
2	吴浩然	中国电子科技集团公司第三十八研究所	2	1	1.0	1.0
3	谢峰	中国电子科技集团公司第三十八研究所	2	0	0.0	0.0
4	王国胜	中国电子科技集团公司第三十八研究所	2	0	0.0	0.0
5	王唐林	中国电子科技集团公司第三十八研究所	1	0	0.0	0.0
6	宋曼	中国电子科技集团公司第三十八研究所	1	0	0.0	0.0