3英寸SiC衬底无架行星式双面抛光运动学分析?

• 作者: 冯显英 张鹏 杨静芳
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 行星差动轮系 抛光轨迹 ADAMS 3英寸碳化硅衬底
• 年，卷（期）: 2015,（18）
• 所属期刊栏目: 研究?开发
• 页码范围: 18105-18111
• 页数: 7页
• 分类号: TH132
• 字数: 3623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2015.18.022

摘要

针对3英寸SiC衬底的精密抛光加工,设计了其无架行星式适应性双面抛光机构的几何模型.推导了抛光垫上任一点磨粒 A 相对 SiC 衬底的运动轨迹方程.利用C＃和Matlab 联合仿真对太阳轮、行星轮、齿圈以及抛光盘转速和运动轨迹的曲率等工艺参数进行了分析.基于 ADAMS 工具,进行了双面抛光的运动学仿真,得到了3英寸 SiC 衬底表面5点的位移、速度、加速度随时间变化的曲线.仿真结果表明,当齿圈和太阳轮转速比m＝－1．25；抛光盘和太阳轮转速比n＝1；磨粒分布半径(RA )适当增加时,磨粒在晶片上走过的轨迹范围增大；得到的抛光轨迹更加均匀.根据仿真的最优参数进行实验,机械抛光后获得了材料去除率(MRR)为1~2μm/h,表面粗糙度(Ra )小于2 nm,总厚度变化(TTV)、弯曲度(BOW)、翘曲度(Warp)均小于15μm 的 SiC 衬底.验证了理论模型的正确性和虚拟样机的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室	108	798	13.0	21.0
2	冯显英	山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室	88	772	15.0	23.0
3	杨静芳	山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室	5	36	2.0	5.0