氩气和氪气作为ECR中和器工质的性能比较

• 作者: 冯冰冰 杨涓 汤明杰 罗立涛 金逸舟
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 电子回旋共振等离子体 ECR中和器 电子束流 工质利用效率 电子损耗 氩气 氪气 引出电压
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 等离子体非平衡过程与实验室模拟专题
• 页码范围: 2850-2855
• 页数: 6页
• 字数: 3799字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.2015.09.004

摘要

为比较使用不同气体工质的电子回旋共振(ECR)中和器的性能,在真空环境下,用一个电子收集板模拟离子的作用,将电子电流从ECR中和器中引出,实验研究了以氩气和氪气为工质时,ECR中和器引出电子电流的大小以及中和器的性能.实验结果表明:以氩气为工质,ECR中和器在体积流量0.8 mL/min时,88.6V电压可引出103.8 mA的电子电流,工质利用效率和电子损耗分别为1.278 9 W/A和194.573W/A;以氪气为工质,ECR中和器在体积流量0.6 mL/min时,75V电压可引出108mA电子电流,工质利用效率和电子产生损耗分别为1.783 2W/A和176.7W/A.以氪气为工质的中和器性能明显优于氨气,但2种工质都可以满足ECR离子源中和离子束流的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨涓	西北工业大学航天学院	79	471	10.0	17.0
2	冯冰冰	西北工业大学航天学院	7	41	4.0	6.0
3	罗立涛	西北工业大学航天学院	10	52	5.0	6.0
4	金逸舟	西北工业大学航天学院	12	52	5.0	6.0
5	汤明杰	西北工业大学航天学院	9	49	5.0	6.0