双波长高阶光栅分布布拉格反射半导体激光器的研究

• 作者: 刘云 刘晓莉 宁永强 张建伟 李秀山 王立军 秦莉 贾鹏 陈泳屹
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 分布布拉格反射激光器 高阶光栅 双波长激射 太赫兹波
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0802007

摘要

为了获得适用于非线性差频法产生太赫兹波的双波长半导体激光器,设计并利用普通光刻技术制备了一种双波长高阶光栅分布布拉格反射(DBR)激光器.这种DBR激光器是在条宽为100 μm的光波导上,制备了一组周期为9.5 μm,沟槽宽度为1.36μm,光栅长度为100 μm的高阶光栅结构,实现高功率连续双波长激射,短波长光模式的边模抑制比大于35 dB,长波长光模式的边模抑制比为39 dB,光谱半峰全宽均为0.04 nm,双波长间隔大于0.58nm,适用于光混频产生太赫兹波.注入电流1.2 A时,实现了单边88 mW的高功率激射.提出了一种可实现高功率双波长激光输出的高阶光栅DBR激光器结构,为双波长半导体激光器的大规模生产提供了一种新方法.