基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工

• 作者: 崔建利 张斌珍 段俊萍 赵龙
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 曝光剂量 SU-8 交联反应 紫外光刻
• 年，卷（期）: 2015,（30）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 128-131
• 页数: 4页
• 分类号: TH706
• 字数: 2217字
• 语种: 中文

摘要

研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构.通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149 μm到345 μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式.结果显示,采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点,为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础.与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比,能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势,具有非常广阔的发展空间.