基于光杠杆原理的微位移测量系统设计

• 作者: 吴禹 周光明 高永锋 鲍丙豪
• 来源期刊: 信息技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光杠杆 微位移 测量系统 PSD 信号处理
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 基金项目
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13274/j.cnki.hdzj.2015.03.010

摘要

基于原子力显微镜的工作原理,设计了一种端点带反光镜的悬臂梁,实现光点位移放大,并利用位置敏感器件(PSD)将光点位置信息转换成光电流,从而设计出一种微位移测量系统.该系统结构简单、灵敏度高,适用于微小位移量的测量.文中给出了该测量系统检测原理,设计了信号处理电路,利用压电元件对悬臂梁端点微位移进行了检测.该系统可检测的线性位移量程为0 ～ 50μm,线性度为1.79％ FS,分辨力可达50nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高永锋	江苏大学机械工程学院	15	27	4.0	4.0
2	鲍丙豪	江苏大学机械工程学院	56	287	9.0	13.0
3	周光明	江苏大学机械工程学院	3	8	2.0	2.0
4	吴禹	江苏大学机械工程学院	4	7	1.0	2.0