AlN/TiSiN纳米多层膜的微观组织和力学性能研究?

• 作者: 何代华 刘平 刘新宽 卢建富 张柯 李伟 陈小红 陈朋灿 马凤仓
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: AlN/TiSiN 纳米多层膜 微观结构 力学性能 共格外延生长
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 研究?开发
• 页码范围: 11080-11084
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2015.11.017

摘要

采用TiSi复合靶和 Al 靶,用射频磁控溅射工艺沉积不同 TiSiN 层厚度的 AlN/TiSiN 纳米多层膜.采用 X 射线衍射仪(XRD )、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究了不同 TiSiN 层厚度对 AlN/TiSiN 纳米多层膜的微观组织和力学性能的影响.结果表明,随着TiSiN层厚度的增加,AlN 相的结晶程度先增加后降低,涂层的硬度先提高后降低,当 TiSiN 层厚度为0．5 nm时具有最高的硬度和弹性模量.HRTEM观测可知,在TiSiN层厚度为0．5 nm 时,TiSiN 层在 AlN层的模板作用下呈密排六方结构,并与 AlN 层呈共格外延生长,薄膜的强化主要与共格外延生长结构有关.