KDP晶体离子束抛光温度场模拟与工艺参数优化

• 作者: 周林 胡皓 袁征 解旭辉 邓鸿飞
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束加工(IBF) 温度场 KDP晶体 参数优化
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 页码范围: 2708-2713
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2955字
• 语种: 中文

摘要

为解决离子束加工热效应这一棘手问题,必须了解离子束加工过程中光学元件的温度场分布,以期优化工艺参数来降低离子束加工过程中光学元件的温度.本文基于ANSYS参数化设计语言(APDL),建立离子束作用下温度场模型,模拟离子束加工KDP晶体过程,并对不同工艺参数条件下工件的温度场进行仿真.分析了工艺参数对KDP晶体温升的影响规律,并通过正交分析方法优化了工艺参数.优化结果表明:从影响工件温度变化程度的角度,离子入射角度θ＞入射离子能量ε＞峰值束流密度J＞扫描行间距系数μ＞束流分布参数σ;从降低工件温升角度,应选取较小的入射离子能量和峰值束流密度以及较大的离子束径、扫描行间距系数和入射角度,减小离子束加工对工件性能的影响,同时加工时间增加不明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解旭辉	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	21	255	8.0	15.0
2	周林	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	13	72	6.0	8.0
3	胡皓	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	6	37	4.0	6.0
4	袁征		4	6	1.0	2.0
5	邓鸿飞	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	1	6	1.0	1.0