316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究

• 作者: 冯军 童洪辉 赖新春 金凡亚 陈美艳
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 铝膜 316L不锈钢 直流磁控溅射 结晶度 致密性 残余应力
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 111-115
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2015.01.026

摘要

采用直流磁控溅射在316L不锈钢上制备了高质量的Al膜，并利用扫描电镜、X射线衍射仪分别对镀层的形貌和结构及应力进行了分析。结果表明，温度、溅射功率之间的合理配置才能制备致密性高、表面缺陷少的Al膜，较优工艺参数温度为170℃、溅射功率1400 W；温度比溅射功率更容易改善结晶度，当溅射功率高、基体温度低，薄膜趋向非晶态；制备的薄膜应力小，最大约为0．176 GPa，微结构对应力影响大。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈美艳		17	34	4.0	4.0
2	金凡亚		57	226	8.0	12.0
3	童洪辉		51	520	10.0	21.0
4	冯军		34	180	4.0	12.0