偏压加强MPCVD法Ir(100)/MgO(100)基片上金刚石异质外延形核

• 作者: 佘建民 唐伟忠 徐小科 李义锋 李效民 苏静杰
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 异质外延 化学气相沉积 微波等离子体 偏压加强
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 896-901
• 页数: 6页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3028字
• 语种: 中文

摘要

利用自行研制的可调谐圆柱谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置的结构优势,设计了电极可调节的偏压加强MPCVD装置.采用脉冲激光沉积(PLD)法制备了Ir(100)/MgO (100)基片.采用偏压加强MPCVD装置进行了金刚石异质外延形核的探索,在Ir(100)/MgO (100)基片上实现了金刚石异质外延形核.扫描电镜结果显示,[100]取向的金字塔状外延金刚石晶粒的形核密度达108～109 cm-2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐伟忠	北京科技大学新材料技术研究院	106	860	16.0	21.0
2	李效民	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	24	197	10.0	13.0
3	李义锋	北京科技大学新材料技术研究院	6	39	2.0	6.0
4	苏静杰	北京科技大学新材料技术研究院	4	27	2.0	4.0
5	佘建民	北京科技大学新材料技术研究院	2	7	1.0	2.0
6	徐小科	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	2	7	1.0	2.0