消除相位测量轮廓术中多路径效应的影响

• 作者: 刘凯 吴炜 杨晓敏 杨洋 龙云飞
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 相位测量轮廓术 多路径效应 相位误差校正 CCD成像 插值
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TN911.74
• 字数: 3049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.041013

摘要

提出了一种减小多路径效应带来的误差影响的方法,优化了相位测量轮廓术,利用亮度调制的差分图确定了受多路径效应影响大的区域,并根据相邻像素点的相位进行校正.实验表明,该方法有效地减小了相位误差,提高了三维测量的精度,校正后相位误差的均方根值比校正前减小了约57.3％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴炜	四川大学电子信息学院	82	916	17.0	25.0
2	杨晓敏	四川大学电子信息学院	77	789	17.0	24.0
3	杨洋	四川大学电气信息学院	154	1365	19.0	32.0
4	龙云飞	四川大学电气信息学院	5	10	2.0	3.0
5	刘凯	四川大学电气信息学院	109	453	10.0	18.0