基于柔性玻璃衬底ZnO∶B薄膜的非晶硅太阳能电池的制备及其光电性能研究

• 作者: 刘石勇 刘路 朱登华 李旺 杜国平 杨德仁 牛新伟 王仕鹏 黄海燕
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性衬底 低压化学气相沉积 B掺杂ZnO 非晶硅薄膜 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 页码范围: 2057-2062
• 页数: 6页
• 分类号: TN204
• 字数: 3894字
• 语种: 中文

摘要

采用低压化学气相沉积法(LPCVD)在大面积(40 cm ×40 cm)超薄柔性玻璃和硬质玻璃衬底上分别制备了B掺杂的ZnO(BZO)透明导电薄膜及非晶硅薄膜太阳能电池,对比了两种衬底上BZO薄膜的形貌、光学和导电性能及其非晶硅薄膜电池的性能.结果表明,在相同LPCVD工艺下,超薄柔性玻璃衬底上BZO薄膜的生长速率相对减小;当生长相同厚度BZO薄膜时,超薄柔性玻璃衬底的透光率相对于硬质玻璃衬底提高约2％,同时并具有相同的导电能力.在柔性玻璃衬底上制备的非晶硅薄膜电池的初始和稳定转化效率也相对提高,分别达到9.16％和7.82％.