激光辐照对热退火金属/掺氟二氧化锡透明导电薄膜光电性能的影响?

• 作者: 任乃飞 周明 李保家 黄立静
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 透明导电薄膜 激光辐照 光栅结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 377-383
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.64.034211

摘要

采用532 nm纳秒脉冲激光对热退火的铝(Al)/掺氟二氧化锡(FTO)、铜(Cu)/FTO和银(Ag)/FTO三种双层复合薄膜表面分别进行处理,结果显示薄膜样品的光电性能都得到提高.其中,热退火Ag/FTO薄膜的平均透光率(400—800 nm)增幅最大,从72.6%提高到80.5%,主要是由于其表面产生了具有减反增透作用的光栅结构.激光辐照后热退火Ag/FTO薄膜的导电性也略有提高,其方块电阻从5.6?/sq下降到5.3?/sq,原因主要是激光辐照的热效应造成的退火作用使薄膜的晶粒尺寸增大,减少了晶界散射而使载流子迁移率提高.计算结果显示,激光辐照后热退火Ag/FTO薄膜的品质因子从0.73×10?2??1增大为2.16×10?2??1,表明其综合光电性能得到显著提高.激光辐照可同步实现薄膜表面光栅结构的制备和附加退火作用,这为金属层复合透明导电薄膜光电性能的综合优化提供了新的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周明	江苏大学光子制造科学技术中心江苏省重点实验室	105	1124	19.0	29.0
2	任乃飞	江苏大学机械工程学院	62	368	11.0	17.0
6	李保家	江苏大学材料科学与工程学院	17	45	4.0	6.0
10	黄立静	江苏大学材料科学与工程学院	3	7	1.0	2.0