SiHCl3流化床制备粒状多晶硅研究进展

• 作者: 杨恺 赵颖
• 来源期刊: 当代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅烷 流化床 粒状多晶硅
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 301-304
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2390字
• 语种: 中文

摘要

综述了近年来关于三氯氢硅（SiHCl3）流化床制备颗粒状多晶硅工艺技术研究状况，详细介绍了国内外关于颗粒状多晶硅制备流化床设备的设计思路及制备情况，并讨论了反应器制备方法对产品纯度的影响，分析了“热壁流化床”的技术缺陷，“冷壁流化床”的技术优势，对下一步流化床技术发展进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵颖	南开大学电子信息与光学工程学院	105	1195	16.0	33.0
2	杨恺		1	4	1.0	1.0