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摘要:
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基于氢等离子体处理改善氢化非晶硅/晶体硅界面钝化效果的工艺研究
氢等离子体处理
氢化非晶硅/晶体硅界面钝化
后退火处理
钝化机理
退火处理对氢化纳米晶/非晶硅两相薄膜的结构和光学性能的影响
氢化纳米晶/非晶硅两相薄膜
退火处理
稳定性
退火时间对FeCuSiBAl纳米晶/非晶复合材料的纳米压痕力学行为的影响
非晶合金
纳米晶
纳米压痕
显微组织
硬度
弹性模量
氢化非晶硅的红外光谱及氢释放的研究
非晶硅
化学气相淀积
红外光谱
金相显微
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 后退火增强氢化非晶硅钝化效果的研究?
来源期刊 物理学报 学科
关键词 非晶硅 退火 钝化 少子寿命
年,卷(期) 2015,(19) 所属期刊栏目 物理学交叉学科及有关科学技术领域
研究方向 页码范围 198801-1-198801-8
页数 1页 分类号
字数 4714字 语种 中文
DOI 10.7498/aps.64.198801
五维指标
传播情况
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2015(0)
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2018(1)
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研究主题发展历程
节点文献
非晶硅
退火
钝化
少子寿命
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
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