篇名 | Study of hysteresis behavior in reactive sputtering of cylindrical magnetron plasma | ||
来源期刊 | 中国物理B(英文版) | 学科 | |
关键词 | cylindrical magnetron sputtering reactive mode hysteresis | ||
年,卷(期) | 2015,(12) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 394-401 | |
页数 | 8页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.1088/1674-1056/24/12/125201 |