篇名 | Silicon nanowire formed via shallow anisotropic etching Si-ash-trimming for specific DNA and electrochemical detection | ||
来源期刊 | 中国物理B(英文版) | 学科 | |
关键词 | silicon nanowire biosensor specific DNA detection anisotropic etching Si-ash-trimming semiconductor pH sensor | ||
年,卷(期) | 2015,(6) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 607-612 | |
页数 | 6页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.1088/1674-1056/24/6/068102 |