基于AlN声表面器件的设计与分析

• 作者: 张贤 石林
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 表面声学波 传感器 有限元分析 AlN薄膜 压电材料
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 算法、设计与应用
• 页码范围: 1401-1403,1431
• 页数: 4页
• 分类号: TN313
• 语种: 中文

摘要

声表面波器件是一种利用压电材料的压电效应与逆压电效应工作电子器件,文章首先详细描述了声表面波器件的设计与仿真过程,运用有限元分析的方法分别计算了利用声表面波的SAW器件与利用体波的BAW器件的性能与各项参数,对相关的器件进行了计算分析,分别用上述方法研究了基于AlN薄膜的声表面波器件和悬臂梁结构的体波器件,推导得出了器件的电学导纳与频率之间的关系,通过分析器件的导纳-频率曲线,推导出器件内部声波的模式以及合适的工作频率,最终得出在IDT周期为8微米的情况下,SAW器件的理想工作频率是0.7～1.95 GHz,BAW器件的理想工作频率在0.6～3.2 GHz的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石林	常州大学信息科学与工程学院	29	75	6.0	7.0
2	张贤	江苏经贸职业技术学院信息技术学院	7	13	2.0	3.0