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晶转埚转以及拉速对单晶硅生产过程的影响分析
晶转埚转以及拉速对单晶硅生产过程的影响分析
作者:
吴跃峰
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
单晶硅
生产工艺
晶埚转
摘要:
单晶硅属于当前技术应用当中十分重要的一种半导体材料,其应用在电子信息技术领域以及太阳能技术领域当中的程度不断提升。当前单晶硅材料应用程度提升,也进一步增强了单晶硅在质量上的要求。换言之,单晶硅的杂质要求更高,加强杂质去除或者控制单晶硅当中的杂质氧含量就显得十分重要。本文侧重研究晶埚转以及拉速对单晶硅生产过程的影响分析。
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篇名
晶转埚转以及拉速对单晶硅生产过程的影响分析
来源期刊
电子测试
学科
关键词
单晶硅
生产工艺
晶埚转
年,卷(期)
2015,(13)
所属期刊栏目
理论与算法
研究方向
页码范围
32-33
页数
2页
分类号
字数
1411字
语种
中文
DOI
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单晶硅
生产工艺
晶埚转
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研究来源
研究分支
研究去脉
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主办单位:
北京自动测试技术研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-8519
CN:
11-3927/TN
开本:
大16开
出版地:
北京市100098-002信箱
邮发代号:
82-870
创刊时间:
1994
语种:
chi
出版文献量(篇)
19588
总下载数(次)
63
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