硅片缺陷自动检测分类方法探究

• 作者: 熊诚雷 邵奇
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 硅片 缺陷 自动检测
• 年，卷（期）: 2015,（13）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 28-29
• 页数: 2页
• 字数: 1597字
• 语种: 中文

摘要

作为电池发电实际效率的重要影响因素，硅片质量具有重要作用。生产硅片的过程中需要综合考虑多种因素，这是因为硅片生产本身具有一定的缺陷。其中，多晶硅片经常性的缺陷主要是纯度不高以及位错缺陷。单晶硅片当中产生的缺陷主要是漩涡缺陷。出现硅片缺陷可能会造成电池片发电能力受到影响，并降低电池的使用寿命。为此，加强对半导体硅片的自动检测分类方法进行研究具有重要意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵奇		1	2	1.0	1.0
2	熊诚雷		1	2	1.0	1.0