基于Cortex-M3控制的全自动芯片制作系统

• 作者: 刘松林 项坚真
• 来源期刊: 电脑知识与技术：学术交流
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法刻蚀 升降平台 自动化 微米级 程控
• 年，卷（期）: dnzsyjsxsb_2015,（11）
• 页码范围: 199-201
• 页数: 3页
• 分类号: TP311

摘要

湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的一种技术,本文结合升降平台,步进电机,组成了整个全自动湿法刻蚀系统。全自动＂傻瓜式＂刻蚀机,只需按下启动键,就可完成刻蚀并清洗芯片上残留的刻蚀液,方便操作。根据实验的目的不同,实验参数也随之改变,其中根据刻蚀沟道的深度,可以灵活调节电机的速度,平台下降的精度可以精确到1μm/min。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘松林	武汉纺织大学电子与电气工程学院	4	3	1.0	1.0
2	项坚真	武汉纺织大学电子与电气工程学院	2	0	0.0	0.0