氢等离子体原子、分子过程研究

• 作者: 吕金锦 吴智量 宁俭 徐伟 梁娟 郭宏运
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 氢等离子体 离解激发 线型分析 分子过程
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 创新实践
• 页码范围: 71-71,72
• 页数: 2页
• 分类号: O561.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2015.11.071

摘要

在微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置中，氢气作为镀膜工艺中重要的参与气体，对镀膜工艺有直接的影响。在微波放电等离子体发生装置中激发氢等离子体，使用高分辨率的多道光谱分析仪实时采集 Hα谱线，对谱线的线型分布进行微分，得出谱线的能量分布，进一步分析氢原子在等离子体中经历的分子过程。结果显示，氢原子的能量分布有3个明显的能量峰，分别在0.3 eV处、2.5 eV处和3 eV处。其中，0.3 eV处的峰比较强，表明在微波放电等离子体条件下，氢原子发生的分子过程主要是离解激发。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴智量	广州大学物理与电子工程学院	22	64	5.0	7.0
2	徐伟	广州大学物理与电子工程学院	21	53	4.0	6.0
3	梁娟	广州大学物理与电子工程学院	4	4	1.0	1.0
4	郭宏运	广州大学物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0
5	宁俭	广州大学物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0
6	吕金锦	广州大学物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0