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洁净厂房温湿度控制特点综述
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摘要：
以国内最大的8．5代 TFT‐LCD工厂 FMCS为实例，探讨洁净厂房温湿度控制过程中的几个重要控制环节。
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洁净间
温湿度
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研究起点
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期刊影响力
机电信息
主办单位：
江苏《机电信息》杂志社有限公司
出版周期：
旬刊
ISSN：
1671-0797
CN：
32-1628/TM
开本：
大16开
出版地：
南京山西路120号江苏成套大厦12楼
邮发代号：
28-285
创刊时间：
2001
语种：
chi
出版文献量（篇）
19929
总下载数（次）
45
总被引数（次）
30590
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