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腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用
腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用
作者:
张会勇
原文服务方:
科技与创新
石英晶体谐振器
晶片腐蚀
谐振电阻
腐蚀方法
摘要:
晶片腐蚀是石英晶体谐振器生产过程中不可缺少的工序。采用不同的腐蚀工艺参数,例如腐蚀量大小、腐蚀液的温度、不同的腐蚀方法,均会对晶体谐振器参数产生不同的影响。简要介绍了石英晶片的腐蚀工序作用、主要参数和腐蚀工艺的步骤对晶体谐振器参数的影响。
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期刊文献
内容分析
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文献信息
篇名
腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用
来源期刊
科技与创新
学科
关键词
石英晶体谐振器
晶片腐蚀
谐振电阻
腐蚀方法
年,卷(期)
2015,(8)
所属期刊栏目
技术应用
研究方向
页码范围
157-157,160
页数
2页
分类号
TN752.2
字数
语种
中文
DOI
10.15913/j.cnki.kjycx.2015.08.157
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张会勇
2
4
1.0
2.0
传播情况
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版权信息
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石英晶体谐振器
晶片腐蚀
谐振电阻
腐蚀方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技与创新
主办单位:
山西科技新闻出版传媒集团
出版周期:
半月刊
ISSN:
2095-6835
CN:
14-1369/N
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
2014-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
41653
总下载数(次)
0
总被引数(次)
202805
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