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原文服务方: 科技与创新       
摘要:
晶片腐蚀是石英晶体谐振器生产过程中不可缺少的工序。采用不同的腐蚀工艺参数,例如腐蚀量大小、腐蚀液的温度、不同的腐蚀方法,均会对晶体谐振器参数产生不同的影响。简要介绍了石英晶片的腐蚀工序作用、主要参数和腐蚀工艺的步骤对晶体谐振器参数的影响。
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文献信息
篇名 腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用
来源期刊 科技与创新 学科
关键词 石英晶体谐振器 晶片腐蚀 谐振电阻 腐蚀方法
年,卷(期) 2015,(8) 所属期刊栏目 技术应用
研究方向 页码范围 157-157,160
页数 2页 分类号 TN752.2
字数 语种 中文
DOI 10.15913/j.cnki.kjycx.2015.08.157
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研究主题发展历程
节点文献
石英晶体谐振器
晶片腐蚀
谐振电阻
腐蚀方法
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技与创新
半月刊
2095-6835
14-1369/N
大16开
2014-01-01
chi
出版文献量(篇)
41653
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202805
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