新型回转法制备超细、高纯氮化硅粉体

• 作者: 丁孝营 卢婷 吴学坤 张明 李军 石丽颖
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: 回转法 氮化硅 粉体
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 实验研究 Experimental Research
• 页码范围: 49-49
• 页数: 1页
• 字数: 1374字
• 语种: 中文

摘要

采用自行设计加工的回转氮化设备，以硅粉、高纯氮气、稀释剂为原料，研究了稀释剂种类对回转法制备氮化硅粉体的影响。结果表明：在硅粉中添加α-氮化硅作为稀释剂，加入30%的α-氮化硅作为稀释剂，在1300℃下氮化15h，制备出高质量氮化硅粉体，其中α含量高达94.59%，粉体平均粒径0.39μm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张明		6	9	2.0	2.0
2	石丽颖		5	2	1.0	1.0
3	吴学坤		1	2	1.0	1.0
4	李军		1	2	1.0	1.0
5	丁孝营		1	2	1.0	1.0
6	卢婷		1	2	1.0	1.0