单晶硅金刚石线切片的制绒工艺研究

• 作者: 张婷 董鹏 雷登辉
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 单晶硅金刚石线切片 表面形貌 金字塔绒面
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 应用科技
• 页码范围: 120-121
• 页数: 2页
• 字数: 1527字
• 语种: 中文

摘要

目前业界单晶硅片存在两种切割方式砂浆切割硅片和金刚石线切割硅片，砂浆切割为传统的切割方式故在电池端有很成熟的清洗制绒方式，但金刚石线切片表面形貌与其大不同。本文通过对金刚石线切片的表面形貌观察研究，尝试在目前的砂浆单晶硅片制绒方式的基础上采取配方调整、增加工艺等措施研究金刚石线切片良好金字塔绒面的形成。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董鹏		7	14	2.0	3.0
2	雷登辉		3	3	1.0	1.0
3	张婷		2	3	1.0	1.0