溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜

• 作者: 刘健敏 张筱君 查剑锐 江伟辉 胡庆 陈婷
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 硅酸锆 溶胶-凝胶法 pH值 抗腐蚀性
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 133-139
• 页数: 7页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 2783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2016.02.005

摘要

采用酸催化溶胶-凝胶法于n型单晶硅基片表面制备出硅酸锆薄膜。运用XRD、SEM等分析测试手段对比了酸催化、回流和陈化三种不同凝胶化工艺对薄膜的相组成和显微形貌的影响。通过粘度-时间曲线观察了溶胶的稳定性并通过FT-IR研究了溶胶水解缩聚的过程。实验结果表明：相比酸催化和回流工艺，采用HNO3调节pH值至1时，可以有效缓解正硅酸乙酯的快速水解缩聚，制备出均匀稳定的硅酸锆溶胶，经提拉镀膜、900℃煅烧0.5 h得到致密光滑的硅酸锆薄膜，能够有效防止NaOH强碱溶液对单晶硅片基底的腐蚀。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江伟辉	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	101	615	14.0	20.0
3	张筱君	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	14	36	4.0	4.0
4	陈婷	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	26	37	4.0	4.0
10	刘健敏		19	26	3.0	4.0
11	查剑锐	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	5	14	2.0	3.0