DELTA-F库仑式微量氧分析仪取样管线改造

• 作者: 卢菊花 张永凤 李亚娜 杨红燕 王桃萍
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: DELTA-F微量氧分析仪 管线改造
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 分析与测试
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TQ117
• 字数: 1603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2016.02.013

摘要

介绍了DELTA-F库仑式微量氧分析仪的分析原理、结构特点及其在多晶硅生产中的应用情况.通过对取样管线的改进,解决了测量中存在的问题,更好的满足了生产需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李亚娜	昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室	1	0	0.0	0.0
2	张永凤	昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	杨红燕	昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室	4	15	2.0	3.0
4	卢菊花	昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室	2	8	1.0	2.0
5	王桃萍	昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室	1	0	0.0	0.0