适用于SiC化学气相沉积工艺的真空机组研究

• 作者: 周岳兵 李益民 胡祥龙 胡高健
• 来源期刊: 炭素
• 学科: 工学
• 关键词: SiC 化学气相沉积 真空泵
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 28-29,10
• 页数: 3页
• 分类号: TB333
• 字数: 1462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn1001-8948.2016-04-005

摘要

通过实验对不同真空泵应用于SiC化学气相沉积工艺的失效时间进行对比,并从结构上对不同真空泵失效的原理进行分析,确定了适用于SIC化学气相沉积工艺的真空泵组.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李益民	中南大学粉末冶金研究院	120	832	15.0	17.0
2	胡祥龙	中南大学粉末冶金研究院	8	8	1.0	2.0
6	周岳兵	中南大学粉末冶金研究院	3	2	1.0	1.0
10	胡高健	中南大学粉末冶金研究院	3	2	1.0	1.0