掺氮铌酸锂薄膜的制备及基本物性研究

• 作者: Romano Rupp 刘士国 孔勇发 崔娇 张玲 李文灿 许京军 钟海涛 陈绍林
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铌酸锂 氮掺杂 PLD-RF
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 1266-1270
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2166字
• 语种: 中文

摘要

采用激光脉冲沉积与射频等离子体相结合的方法(PLD-RF),在蓝宝石衬底上一步沉积了掺氮铌酸锂(LiNbO3:N)薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和紫外-可见-红外光谱仪(UV-Vis-NIR)对LiNbO3:N的晶格结构、掺杂含量及价态、光学性质进行了研究.结果表明铌酸锂薄膜沿(006)方向择优生长,其中氮的原子含量为2.04％,替代氧原子的位置,N的掺入有效的窄化了LiNbO3的带隙,使其紫外-可见吸收光谱的吸收边出现红移,并且在铌酸锂禁带中引入了杂质能级(Ev),能级深度为2.7 eV.