基于复合光栅的大范围高精度对准方法

• 作者: 刘俊伯 司新春 周毅 唐燕 程依光 胡松 胡淘 邓钦元
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光栅 傅里叶光学 光刻对准 复合光栅 叠栅条纹 相位解析
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅
• 页码范围: 23-31
• 页数: 9页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201636.0105003

摘要

提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要.该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成.对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精对准;通过直接求取大周期光栅位置实现粗对准.由于两个方向上的光栅相互正交,傅里叶变换提取频谱时将不受影响.分别分析小周期光栅的叠栅条纹相位分布,以及大周期光栅的强度分布,实现大范围、高精度对准.推导了基片、掩模相对移动量与复合光栅变化之间的关系.通过计算机模拟对该对准方法进行了仿真分析,考虑噪声的基础上,对准精度可以达到16.5 nm;通过实验系统对该对准方法进行了验证与分析,对准精度可以达到30.19 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周毅	中国科学院光电技术研究所	166	1687	23.0	36.0
2	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
3	邓钦元	中国科学院光电技术研究所	2	0	0.0	0.0
4	唐燕	中国科学院光电技术研究所	10	1	1.0	1.0
5	司新春	中国科学院光电技术研究所	1	0	0.0	0.0
6	刘俊伯	中国科学院光电技术研究所	3	0	0.0	0.0
7	程依光	中国科学院光电技术研究所	2	0	0.0	0.0
8	胡淘	中国科学院光电技术研究所	1	0	0.0	0.0