PVD法制备的(Ti,Al)N硬质膜热稳定性研究

• 作者: 吴化 尤申申 李欣红 郭明阳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束辅助沉积 (Ti,Al)N硬质膜 差热分析 热稳定性
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 130-135
• 分类号: TG
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.02.02

摘要

采用空心阴极离子束辅助多弧离子镀技术在高速钢表面沉积(Ti,Al)N硬质膜,并将其分别在空气和保护气氛中、不同温度下加热,研究膜层的热稳定性.利用X射线衍射和差热分析方法确定了相组成及其变化;观察和检测了膜的表面形貌、粗糙度和纳米压痕硬度.结果表明,膜表面粗糙度0.2190,硬度值34.19 GPa,经空气中700℃加热后,膜层中TiN相开始分解生成TiO2,当温度升至900℃时膜分解开裂,硬度值降至12.27 GPa,失去保护作用.而在保护气氛下,膜层经1200℃高温加热后与未加热膜相比较,物相组成与表面形貌稍有变化,硬度值降为28.23 GPa.显示出(Ti,Al)N膜具有良好的热稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴化	长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室	66	400	11.0	15.0
2	尤申申	长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室	3	17	2.0	3.0
3	李欣红	长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室	2	6	2.0	2.0
4	郭明阳	长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室	2	6	2.0	2.0