基于TDLAS的激光湿度检测技术研究

• 作者: 吕富良 张可可 赵强 郑学勇 闫星魁 陈世哲
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 湿度 可调谐二极管激光吸收光谱 波长调制
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

提出一种利用波长调制与谐波检测技术测量环境湿度的新方法.利用可调谐二极管激光光谱吸收技术,选择948 nm波段的H2O分子吸收谱线作为特征谱,并采用反射式开放气室,研制了光路系统结构简单、易于调节的新型湿度传感器样机.实验结果表明,该激光湿度传感器响应频率为40 Hz,湿度测量误差在±1.2％以内,能够满足对湿度高动态、高精度测量的需要.