无模型自适应模糊算法的多晶硅棒温度控制

• 作者: 何怡刚 杨鹏 谢宏 谭阳红 邹高亮 陈俊辉 陈海滨
• 来源期刊: 计算机工程与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 无模型自适应 模糊控制 参数自整定 硅棒温度
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 244-249
• 页数: 6页
• 分类号: TP273+.2
• 字数: 3974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.1401-0148

摘要

多晶硅还原炉硅棒表面温度控制既要保证硅棒表面在最佳反应温度,又不要使其波动较大.由于多晶硅生产过程中的气相沉积反应使硅棒电气结构发生变化,因而存在很强的耦合作用和非线性特性.提出了以无模型自适应模糊控制器为主控制器,以PI为副控制器的双闭环结构的控制系统,采用基于无模型自适应控制器的结构,根据无模型自适应控制器的参数学习因子和步长序列对系统动态性能影响趋势,使用模糊自适应方法,通过模糊规则在线修正无模型自适应控制器的学习因子和步长序列两个参数,使温度控制系统既能保证收敛稳定性,又能提高系统对于温度控制的动态性能.仿真结果表明了该控制方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何怡刚	湖南大学电气与信息工程学院	426	5127	34.0	51.0
2	谭阳红	湖南大学电气与信息工程学院自动化系	98	1126	17.0	30.0
3	谢宏	湖南大学电气与信息工程学院自动化系	52	377	11.0	18.0
4	陈海滨	湖南大学电气与信息工程学院自动化系	8	77	4.0	8.0
5	杨鹏	湖南大学电气与信息工程学院自动化系	10	96	6.0	9.0
6	陈俊辉	湖南大学电气与信息工程学院自动化系	6	76	4.0	6.0
7	邹高亮	湖南大学电气与信息工程学院自动化系	1	2	1.0	1.0