镀膜元件低频面形参数的有限元模拟及分析方法

• 作者: 易葵 柴英杰 王虎 邵淑英 郭猛
• 来源期刊: 凝聚态物理学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 低频面形参数 有限元模拟 大口径基片
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 29-35
• 页数: 7页
• 分类号: TH74

摘要

利用有限元法对基片镀膜引起的变形量进行了模拟,通过数据转换将模拟结果输入Metropro 8.3.5面形处理软件,得到了低频面形参数变化量。对比模拟结果与实测结果,发现两者非常接近。利用该方法实现了形状复杂、口径较大镀膜基片面形参数变化量指标的预估,使得镀膜元件面形主动量化控制成为可能。