在不同温度下对金属铍(Be)进行热氧化,采用热重、AES 和 SEM 对 Be 的热氧化过程、氧化后表面状态、微区成分和氧化层厚度进行表征和分析,探讨了不同温度下 Be 的氧化行为和氧化特性。结果表明:室温~400℃范围内,Be 样品的氧化增重主要服从抛物线规律;400~900℃范围内,主要呈线性变化。在较低温度下,Be 表面形成的钝化层具有良好的保护作用,比较耐蚀。高温对 Be 样品的氧化影响较大,认为600℃以下 Be 的氧化主要受 Be 原子向表面的热扩散控制;800℃以上,氧通过晶界和孔洞扩散进入材料体内、氧化膜受热膨胀以及应力作用开裂等,导致 Be 发生严重的氧化腐蚀。