微波化学气相沉积制备氧化铝薄膜及钝化性能研究

• 作者: 刘坤 巴德纯 张健 杜广煜
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 线性微波化学气相沉积 氧化铝薄膜 少子寿命 微波功率 温度
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 529-533
• 分类号: O484|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.05.06

摘要

AlOx薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注.本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜层样品,并通过扫描电镜、SE800椭偏仪和WT2000少子寿命测量仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、钝化性能进行分析.实验结果表明,LMW-PECVD制备的AlOx薄膜沉积速度快且薄膜质量高,适用于大规模企业生产.此外,微波功率和生长温度都对AlOx薄膜的钝化性能有着显著的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械及自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	刘坤	东北大学机械及自动化学院	55	274	11.0	15.0
3	张健	东北大学机械及自动化学院	17	69	4.0	7.0
4	杜广煜	东北大学机械及自动化学院	28	84	6.0	8.0