新型清洗釜中超临界二氧化碳的数值模拟研究

• 作者: 吕媛 武凯 程友良 靳光亚
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 地球科学
• 关键词: 绿色清洗技术 超临界二氧化碳 清洗釜 硅晶片清洗 数值模拟
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 24-28,45
• 页数: 6页
• 分类号: X383
• 字数: 2732字
• 语种: 中文

摘要

利用FLUENT软件对通过微小喷嘴通道流入一种新型清洗釜内的超临界二氧化碳进行了数值模拟,根据模拟结果,计算和分析了清洗釜内被清洗硅晶片的表面所受到的剪切作用力.结果表明,超临界二氧化碳流体在新型清洗釜内的流动状况良好,硅晶片表面能受到超临界二氧化碳流体一定的冲刷,有良好的清洗效果.因此,数值模拟结果能给予新型清洗釜的设计以一定的理论依据,为今后超临界二氧化碳绿色清洗技术的优化提供一种理论分析方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程友良	华北电力大学能源动力与机械工程学院	71	237	8.0	12.0
2	靳光亚	华北电力大学能源动力与机械工程学院	14	83	6.0	8.0
3	武凯	华北电力大学能源动力与机械工程学院	10	34	3.0	5.0
4	吕媛	华北电力大学能源动力与机械工程学院	3	1	1.0	1.0