一种用于半导体厂房的洁净室技术领域

• 作者: 施晓燕
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 半导体 开发 洁净室 高端 厂房
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 字数: 2786字
• 语种: 中文

摘要

随着半导体厂房对环境要求越来越高,尤其是高端半导体产品对腐蚀性气体的含量要求越来越高,现有的洁净室技术并不能满足这些高端半导体的生产厂房(如32 nm/28 nm高端制程)的洁净要求.因此,开发一种低成本的洁净室,并能避免腐蚀性气体影响,对于一些高端半导体的生产厂房具有积极的显示意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施晓燕		2	1	1.0	1.0