溅射功率对AZO透明导电薄膜的性能影响

• 作者: 姜玮 屠节 王美英 罗帅 耿志挺
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: AZO透明导电薄膜 磁控溅射 溅射功率 光电性能
• 年，卷（期）: clkx_2016,（1）
• 页码范围: 53-58
• 页数: 6页
• 分类号: TB3

摘要

Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)具有高电导率,可见光范围内的高透过率,已经成为一种逐渐兴起的光电薄膜材料,相比于传统的ITO薄膜,AZO薄膜具有原料储量丰富,价格低廉,无毒无害等优点,成为了替代ITO薄膜的首选材料。本文采用自制的AZO靶材,通过射频磁控溅射的方法制备的AZO薄膜,并利用四探针电阻测试仪、紫外–可见光分光光度计、XRD、SEM对薄膜的性能进行表征,研究了不同的溅射功率对薄膜形貌,结构以及光电性能的影响。结果表明:随着溅射功率从150 W至300 W逐步升高,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大,结晶性能上升,电阻率下降,而可见光透过率则呈现先增大后减小趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿志挺	清华大学材料学院	25	515	10.0	22.0
2	姜玮	清华大学材料学院	3	4	1.0	2.0
3	罗帅	清华大学材料学院	1	0	0.0	0.0
4	王美英	清华大学材料学院	1	0	0.0	0.0
5	屠节	清华大学材料学院	1	0	0.0	0.0