氧化锌薄膜晶体管电性能的温度特性

• 作者: 刘玉荣 王聪
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管 氧化锌 电特性 温度特性
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: ?薄膜光学?
• 页码范围: 50-54,61
• 页数: 6页
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 3363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.02.009

摘要

采用射频磁控溅射法成功制备了ZnO薄膜晶体管(ZnO-TFT)，研究了ZnO-TFT电学性能的温度依赖性及其影响机理。从室温27℃到210℃的变化范围，随着器件温度的升高，ZnO-TFT的开关电流比和阈值电压都有明显的减小，亚阈值摆幅明显升高，有效场效应迁移率先增加再逐渐减小。电性能的变化主要来源于因温度升高引起的沟道有源层载流子浓度增加，点缺陷的形成，界面散射增强等多种因素复合作用所致。另外，当器件温度逐渐冷却至初始温度过程，器件的电特性与升温前存在一定的迟豫现象，这主要是由于升温期间ZnO薄膜有源层中产生的点缺陷(氧空位和间隙氧原子)，以及被缺陷态陷阱的电子需要较长时间通过复合而消失。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉荣	华南理工大学电子与信息学院	31	82	6.0	6.0
5	王聪	汕尾职业技术学院电子信息系	31	194	7.0	12.0