导线在真空环境中的放气特性分析

• 作者: 吴晓斌 张晓兵 杨玲玲 王魁波 罗艳 肖梅 陈蕾
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 导线 材料放气率 小孔流导法 四极质谱法
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 研 究 报 告
• 页码范围: 100-103
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 2136字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.02.008

摘要

材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率，利用四极质谱计测量了样品在不同温度条件下的放气质谱图。结果表明这两种材料在加热过程中的放气率先增大后减小，并随着抽气不断减小，在加热过程中的谱图中检测到质量数为69的气体，说明放出的气体成分含氟。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓兵	东南大学电子科学与工程学院显示中心	87	746	13.0	24.0
2	肖梅	东南大学电子科学与工程学院显示中心	11	83	5.0	9.0
3	罗艳	中国科学院光电研究院	30	414	8.0	20.0
4	杨玲玲	东南大学电子科学与工程学院显示中心	4	0	0.0	0.0
5	吴晓斌	中国科学院光电研究院	12	24	3.0	4.0
6	王魁波	中国科学院光电研究院	11	20	3.0	4.0
7	陈蕾	东南大学电子科学与工程学院显示中心	13	286	5.0	13.0